Manueller
Flat-Alinger
Universeller Flat-Aligner für 100mm, 5", 150mm und
200mm Wafer auch in Lowprofile-Ausführung. Das Gerät
ist einfach zu bedienen und kann zudem an die unterschiedlichen
Hordenausführungen angepasst werden. Die Wafer werden
mit Hilfe der Handkurbel ausgerichtet. Der Schaltknebel des
Gerätes stellt die Funktion ein.
Low-Particle Flat-Aligner
Automatischer Low-Particle Flat-Aligner für 150mm und
200mm Wafer. Das Gerät ist mit besonderem Augenmerk auf
höchste Reinraum-Anforderungen und Partikelbelastung
konzipiert. Dafür wird die Horde auf den Hordenlift gestellt,
der sich dann nach einer kurzen Verzögerung automatisch
absenkt und die Funktion zum Ausrichten der Wafer startet.
Nach dem Abschluss der Funktion hebt der Hordenlift die
Horde wieder an, so dass die Wafer sanft in die Hordenschlitze
gestellt werden.
Manueller Notch-Aligner
Der manuelle Notch-Aligner für 150mm und 200mm Wafer
ist ein effizientes Hilfsmittel zum Ausrichten der Wafer-Notches
und dem Positionieren der Wafer-Notches auf die gewünschte
Position. Das Gerät ist flach ausgeführt und einfach
zu bedienen.
Low-Particle Notch-Aligner
Der automatische Low-Particle Notch-Aligner ist für 150mm,
200mm und für 300mm Wafer verfügbar. Nachdem die
Horde aufgestellt wurde, startet die Funktion automatisch
mit einer kurzen Verzögerung. Als besonderes Merkmal
für dieses Gerät ist die Teilung der Stützwalzen
zu erwähnen. Jede Wafer-Position in der Horde hat eine
unabhängig drehende Stützwalze. Damit wird verhindert,
dass bereits ausgerichtete Wafer auf der drehenden Stützwalze
aufliegen und dort an der Walze reiben. |
