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| Microscope Loader |
Bei der Entwicklung der Nanotronics Automation Waferloader steht die Vielseitigkeit im Mittelpunkt. Jeder Waferloader kann eine Vielzahl von Wafergrößen
handhaben und lässt sich leicht mit anderen Geräten, wie z.B. Mikroskopen, vereinen.
Endeffektoren
Die Endeffektoren werden für Ihre Anwendung angepasst. Im Bedarfsfall können Endeffektoren schnell und einfach getauscht werden.
Anpassbare Bewegungsabläufe
Die Waferloader erlauben jede Position mit frei programmierbaren Geschwindigkeiten anzufahren. Damit bietet sich die Möglichkeit eine Vielzahl anderer Geräte mit den
Waferloadern zu kombinieren.
Software
Die Benutzersoftware unterstützt sowohl das Abarbeiten von Batches als auch Einzelwaferhandling. Handlingssequenzen können einfach aufgezeichnet werden und in einem
Rezept hinterlegt werden. Für noch mehr Flexibilität wird zudem eine API zur Programmierung zur Verfügung gestellt.
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