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Berührungslose Widerstandsmessung
Berührungslose Schichtdickenmessung
2D/3D Profilometrie
2D/3D Profilometrie
Messsysteme zur optischen Messung von Profilen und Dicken zur Kontrolle von ätz- und Schleifprozessen.
Die Systeme sind manuell und vollautomatisch für Wafer bis zu 300mm Durchmesser Kassette-zu-Kassette verfügbar.
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