Die Modelle M-RES 2xxxM-AL sind automatisch arbeitende Systeme.
Die Wafer werden entsprechend eines Rezeptes aus der Horde
genommen und automatisch gemessen. Nach der Messung werden
die Wafer wieder in der Horde abgelegt.
Die Anwendung dieser Systeme ist z.B. in der
Prozess-Entwicklung von EPI-, Implant-, Metallisierungs-
und anderen Dünnschicht-Prozessen leitfähiger Schichten
oder der Fertigungsüberwachung der Prozesse.
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