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Flat- und Notch-Aligner / Wafer Handling Tools  

Manueller Flat-Alinger
Universeller Flat-Aligner für 100mm, 5", 150mm und 200mm Wafer auch in Lowprofile-Ausführung. Das Gerät ist einfach zu bedienen und kann zudem an die unterschiedlichen Hordenausführungen angepasst werden. Die Wafer werden mit Hilfe der Handkurbel ausgerichtet. Der Schaltknebel des Gerätes stellt die Funktion ein.

Low-Particle Flat-Aligner
Automatischer Low-Particle Flat-Aligner für 150mm und 200mm Wafer. Das Gerät ist mit besonderem Augenmerk auf höchste Reinraum-Anforderungen und Partikelbelastung konzipiert. Dafür wird die Horde auf den Hordenlift gestellt, der sich dann nach einer kurzen Verzögerung automatisch absenkt und die Funktion zum Ausrichten der Wafer startet. Nach dem Abschluss der Funktion hebt der Hordenlift die Horde wieder an, so dass die Wafer sanft in die Hordenschlitze gestellt werden.

Manueller Notch-Aligner
Der manuelle Notch-Aligner für 150mm und 200mm Wafer ist ein effizientes Hilfsmittel zum Ausrichten der Wafer-Notches und dem Positionieren der Wafer-Notches auf die gewünschte Position. Das Gerät ist flach ausgeführt und einfach zu bedienen.

Low-Particle Notch-Aligner
Der automatische Low-Particle Notch-Aligner ist für 150mm, 200mm und für 300mm Wafer verfügbar. Nachdem die Horde aufgestellt wurde, startet die Funktion automatisch mit einer kurzen Verzögerung. Als besonderes Merkmal für dieses Gerät ist die Teilung der Stützwalzen zu erwähnen. Jede Wafer-Position in der Horde hat eine unabhängig drehende Stützwalze. Damit wird verhindert, dass bereits ausgerichtete Wafer auf der drehenden Stützwalze aufliegen und dort an der Walze reiben.

 

 

   

Manueller Wafer-Steplift

Diese Tischgerät ist ein nützliches Tool, Wafer in Stufen aus der Horde zu heben um, z.B. die Wafer-ID zu lesen. Dazu wird die Horde mit den ausgerichteten Wafern in das Gerät geschoben. Die stufenförmig angeordneten Pusher heben die Wafer dabei aus der Horde, gerade genug, um die Wafer-ID sicher erkennen zu können.

Automatischer Kaskadenlift
Der automatische Kaskadenlift ist die Kombination eines automatischen Low-Particle Flat-Aligners oder auch Notch-Aligners mit einem Steplift zum Anheben der Wafer. Nach dem Ausrichten der Wafer werden diese von einem stufenförmigen Pusher angehoben. So lässt sich die Wafer-ID zuverlässig erkennen. Eine optional montierte Beleuchtung erleichtert die Arbeit.

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Link zum Hersteller: logo www.glautomation.com