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Wafer Sorter

Mit dem COMET Single Wafer Sorter steht eine Familie flexibler und leistungsfähiger Wafer Sorter zur Verfügung. Das Tischsystem mit zwei Stationen verfügt bereits über eine computergestützte Steuerung, die alle Freiheiten zum Sortieren von Wafern bietet. Die Bedienung erfolgt über den Touch-Screen des Computers mit Hilfe graphischer Darstellungen oder Maus-Steuerung. Mit Hilfe der integrierten Wafersensoren erfasst das System zunächst den Status der aufgestellten Horden. Dabei wird auch ein mögliches Cross-Sloting geprüft. Für den Sortiervorgang werden zuvor programmierte Funktionen verwendet bzw. interaktiv durch die Eingabe des Waferslots und des Zielslots über den Touch-Screen.
Die Operator-Ebene lässt nur die freigegebenen Funktionen zu. Der Zugang zur Konfiguration und zur Programmierung der Sortierfunktionen ist geschützt und nur mit Hilfe eines Passwortes möglich.
Comet

 

Komplexe Single Wafer Sorter sind als Standgeräte ausgeführt. Es sind Ausführungen mit zwei, drei oder vier Hordenstationen verfügbar. Die Horden sind entsprechend SEMI Normen in der richtigen Höhe in einer Reihe angeordnet und damit leicht zu bedienen. Die Horden werden mit den Wafern in vertikaler Ausrichtung in den Hordenschlitzen auf die Stationen gestellt. In der Ausführung für 150mm Wafer sind die Stationen mit einem Flat-Aligner versehen. Für Single Wafer Sorter von 200mm Wafern ist ein Notch-Aligner verfügbar, der die Wafer vor dem Lesen der Wafer-ID ausrichtet. Zum Ausführen der Sortierfunktion werden die Horden aufgerichtet und die Wafer damit in die horizontale Ausrichtung gestellt. Die Wafer-ID wird auf einer Station gelesen und der Wafer entsprechend des Sortierprogramms in die Zielhorde gestellt.

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Link zum Hersteller: logo www.r2d-automation.com
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