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Umhordesysteme

Seit 1992 liefern wir vertikal und horizontal Wafer-Umhordesysteme für alle bekannten Anwendungen in der Halbleiterproduktion. Das sind Tischsysteme und Beladevorrichtungen für Prozessanlagen, teilweise mit der Logistik für Wafer und Horden. Die Umhordesysteme sind für Wafer mit 3" Durchmesser bis zu 300mm Durchmesser verfügbar.

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Vertikal Wafer-Umhordesysteme

Horizontal Wafer-Umhordesysteme