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Berührungslose Schichtdickenmessung

Die berührungslosen Schichtdicken-Messsysteme für transparente Schichten sind effizient und einfach zu bedienen. Die Messsysteme arbeiten auf dem Prinzip der Reflektionsspektroskopie. Mit Hilfe komplexer Algorithmen werden die Spektren einzelne Schichten und die von ganzen Schichtsysteme analysiert. Zur Analyse der Spektren und Bestimmung der Schichtdicke, wie auch der optischen Konstanten, n und k, bieten diese berührungslosen Schichtdicken-Messsysteme umfangreiche Algorithmen mit unterschiedlichen Materialdaten, die jederzeit ergänzt werden können. Die berührungslosen Schichtdicken-Messsysteme sind für Messungen extrem dünner Schichten von wenigen Angström bis hin zu dicken Schichten von fast 500Ám verfügbar. über den Probentisch lassen sich mit Hilfe von Polarkoordinaten alle Positionen auf der Probe messen. Außer den Standard-Messplänen aus dem Lieferumfang des Systems sind eigene Messpläne mit beliebig vielen Messorten einfach zu erstellen.
Die berührungslosen Schichtdicken-Messsysteme sind für Wafer mit Durchmessern von 100mm bis zu 300mm lieferbar. Die Messgeschwindigkeit ist bei diesen System außerordenlich hoch, so dass ein vollständiges Wafermap mit 56 Punkten nur ca. 29 Sekunden beansprucht (200mm Wafer). Die graphische Darstellung der Messergebnisse zeigt sofort und übersichtlich die Verteilung der Schichtdicke über den ganzen Wafer. Mit einem Messfleck von nur 200Ám sind Messungen innerhalb kleiner Strukturen möglich.

 


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Link zum Hersteller: logo www.Filmetrics.com