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PV-R / PV-RT
Die Plattform für die Inline-PV-Metrologie
Das berührungslose Widerstandsmesssystem,
Modellreihe PV-R, wurde zur In-Line-Messung an
Wafern für
Solarzellen nach
der Diffusion entwickelt. In einem Durchlaufprinzip werden
die Wafer auf Spuren entlang der Transportrichtung an mehreren Stellen gleichzeitig vermessen. Nach
der Auswertung ergibt sich die Widerstandsverteilung über
die Fläche der Wafer. Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme
PV-R verfügen über eine außerordentlich hohe
Messrate. Sie bieten damit ausgezeichnete Informationen über
die Widerstandsverteilung ohne den Durchsatz der Fertigungslinie
zu beeinflussen.
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Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme
der Modellplattform PV-R / PV-RT sind in Ausführungen mit integrierter
Dickenmessung der Wafer verfügbar. Die Messergebisse
für den Widerstand werden in dieser Ausführung als spezifischer
Widerstand erfasst, vielmehr verfügen diese System über
eine automatische Korrektur der Messergebnisse auf die
Waferdicke am jeweiligen Messort. Als weiterer Messwert
wird auch die Dickenverteilung mit dem TTV erfasst.
P/N-Monitor und Lebensdauermessung runden diese Systeme
als vollständige Metrologie für elektrische Größen ab.
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