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PV-R / PV-RT
Die Plattform für die Inline-PV-Metrologie


Das berührungslose Widerstandsmesssystem, Modellreihe PV-R, wurde zur In-Line-Messung an Wafern für Solarzellen nach der Diffusion entwickelt. In einem Durchlaufprinzip werden die Wafer auf Spuren entlang der Transportrichtung an mehreren Stellen gleichzeitig vermessen. Nach der Auswertung ergibt sich die Widerstandsverteilung über die Fläche der Wafer. Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme PV-R verfügen über eine außerordentlich hohe Messrate. Sie bieten damit ausgezeichnete Informationen über die Widerstandsverteilung ohne den Durchsatz der Fertigungslinie zu beeinflussen.
Comet Sortiment
Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme der Modellplattform PV-R / PV-RT sind in Ausführungen mit integrierter Dickenmessung der Wafer verfügbar. Die Messergebisse für den Widerstand werden in dieser Ausführung als spezifischer Widerstand erfasst, vielmehr verfügen diese System über eine automatische Korrektur der Messergebnisse auf die Waferdicke am jeweiligen Messort. Als weiterer Messwert wird auch die Dickenverteilung mit dem TTV erfasst. P/N-Monitor und Lebensdauermessung runden diese Systeme als vollständige Metrologie für elektrische Größen ab.

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