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Metrologie für die Halbleiter- Display- und Dünnschicht-Technologie

Wir bieten Lösungen für Anwendungen

  • zur Schichtdicken-Messung
  • zur Oberflächen-Topographie, einschließlich 3D-Messung
  • zur berührungslosen Widerstandsmessung.

    Die Systeme sind für die verschiedenen Waferdurchmesser bis 300mm, auch zum automatischen Messablauf verfügbar.
 

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