Wafer Handling | Metrologie | KITEC | Kontakt | Jobs Startseite | English  


 
 
M-RES
 
M-RES ist eine Produktfamilie mit Messsystemen zur berührungslosen Widerstandsmesssung von leitfähigen Wafern oder Wafern mit einer leitfähigen Schicht, z.B. nach einem EPI-, Implant- oder Metallisierungs-Prozess.
Neben eine Messsystem-Reihe für Forschung und Entwicklung (M-RES 20-xxx) sind Systeme mit konventioneller Wirbelstrom-Messtechnologie (M-RES 12xx) oder Messsysteme mit advanced Wirbelstrom-Messtechnologie verfügbar (M-RES 2xxx).

Bei Systemen mit konventioneller Wirbelstrom-Messtechnik wird das Signal der Sensoren ausgewertet, ohne die Umgebung und die apparativen Bedingungen der Messung zu berücksichtigen.
Bei den Systemen der advanced Wirbelstrom-Messtechnik wird zusätzlich zur Widerstandsmessung auch die Waferdicke bestimmt. Durch die Messung beider Werte am gleichen Ort lassen sich auch Wafer mit Bow und Warp zuverlässig messen. Der Messwert korreliert direkt mit anderen Messmethoden und die Tool-to-Tool Korrelation beträgt <1%. Die Messsysteme mit der advanced Wirbelstrom-Messtechnik eignen sich daher besonders für Fertigungslinien mit parallel eingesetzten Messsystemen und bieten zuverlässige Daten zwischen verschiedenen Fertigungslinien.

Tool-to-tool matching

Mehr Informationen anfordern.

Produktinformationen

backZurück