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LCD-R

Die berührungslosen Widerstandsmesssysteme der Modellreihe LCD-R wurden speziell für großflächige Substrate konzipiert, wie sie bei der Herstellung von Flachbildschirmen benötigt werden. Als In-Line-Systeme werden die LCD-R berührungslosen Widerstandsmesssysteme in das Conveyor-System der Fertigungslinie integriert und messen dort berührungslos den Widerstand der Beschichtung während das Substrat vom Conveyor-System transportiert wird. Mit bis zu 10 Messspuren wird auch bei den Fertigungslinien der nächsten Produktionsgeneration eine hervorragende Ortsauflösung erzielt.

Comet Sortiment
Je nach Anforderungsprofil der Fertigungslinie sind die berührungslosen Widerstandsmesssysteme der Modellreihe LCD-R mit einem Messbereich von drei (3) Dekaden und mehr lieferbar. Es stehen Messsysteme mit einem Messbereich über 1.000 Ohm/sq zur Verfügung. Das Systemkonzept erlaubt zudem den Einsatz von Messsystemen unterschiedlicher Messbereiche in eine Fertigungslinie. Mit der Systemsoftware werden Messrezepte generiert, bei denen u.a. das jeweilige Messsystem selektiert wird.

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